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      蝕刻機(jī)噴頭的作用及維護(hù)

      發(fā)表時間:2019-11-12 09:19:40
      1.蝕刻機(jī)噴頭的介紹:
      蝕刻機(jī)噴頭是蝕刻機(jī)噴淋裝置中最重要的一個部件,藥液噴淋的形狀是根據(jù)蝕刻機(jī)噴頭的種類來決定的,不同的蝕刻機(jī)噴頭所起到的作用是不一樣的。

      2.蝕刻機(jī)噴頭的作用:
      主要作用是把蝕刻液均勻的噴淋到工件上,蝕刻機(jī)噴頭根據(jù)蝕刻機(jī)每道工序所對應(yīng)的要求所選擇不同的種類。比如:常規(guī)情況下蝕刻段選擇用扇形,因?yàn)槲g刻段對壓力的要求比較高,而我們扇形噴嘴噴淋出的液體壓力會相對較高;顯影段和退膜段我們就采用錐形噴嘴,因?yàn)檫@兩處需要覆蓋面廣,而錐形噴嘴剛好就有這種特性。
      扇形噴嘴:扇形噴嘴噴霧     錐形噴嘴:錐形噴嘴噴霧

      3.蝕刻機(jī)噴頭的維護(hù):
      蝕刻液是通過蝕刻機(jī)噴頭頂端的小孔把藥水給噴淋出來,這個小孔的直徑是很小的,所以是很容易堵塞的,而我們的蝕刻液沉淀物和腐蝕下來的殘?jiān)际穷w粒狀的,使用的時間過長了這些固體顆粒物的形成就會堵塞噴頭,所以我們需要定期的清理蝕刻機(jī)的噴頭才能達(dá)到良好的腐蝕效果。
      蝕刻機(jī)
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